Desenvolvimento de sistema de esterilização por plasma a baixa pressão, usando sistema de acoplamento capacitivo e acoplamento indutivo
O objetivo deste estudo foi avaliar a eficácia da esterilização por plasma, utilizando como sensor o indicador biológico, esporos deBacillus subtilis. Nesse estudo foram utilizados reatores constituídos de acoplamento capacitivo modo RIE (Reactive Ion Etching) e acoplamento indutivo modo ICP (I...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
2006
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/9/9139/tde-01122006-124302/ |