Análise de um sensor de pressão em óptica integrada
A análise de um sensor óptico de pressão foi realizada neste trabalho. O sensor baseia-se no deslocamento de um diafragma composto por camadas de silício, dióxido de silício e vidro. O deslocamento do diafragma causa a alteração do índice de refração do guia óptico do ramo sensor de um interferô...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
1995
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18133/tde-01122015-110845/ |