Estudo do corte abrasivo de quartzo para a fabricação de geradores piezelétricos
O presente trabalho trata do estudo do fatiamento de cristais de quartzo quanto as suas características e influências na fabricação de micro sistemas eletromecânicos (MEMS). A metodologia é iniciada pelo projeto estruturado de um MEMS, convergindo para um gerador energia elétrica do tipo energy...
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Language: | Portuguese |
Published: |
Universidade de São Paulo
2015
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Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18146/tde-02052016-132832/ |