Estudo do corte abrasivo de quartzo para a fabricação de geradores piezelétricos

O presente trabalho trata do estudo do fatiamento de cristais de quartzo quanto as suas características e influências na fabricação de micro sistemas eletromecânicos (MEMS). A metodologia é iniciada pelo projeto estruturado de um MEMS, convergindo para um gerador energia elétrica do tipo energy...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Luis Antonio Oliveira Araujo
Other Authors: Carlos Alberto Fortulan
Language:Portuguese
Published: Universidade de São Paulo 2015
Subjects:
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18146/tde-02052016-132832/