Medida de topografia de superfície usando a técnica de deslocamento de fase
Neste trabalho, medimos o perfil 3D de superfícies (microtopografia) utilizando uma técnica de interferometria óptica: Phase-Shi,ftzng (Deslocamento de Fase). Utilizamos um interferômetro do tipo Twyman-Green para produzir fi.guras de interferência da superfície analisada. Essas imagens foram ar...
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Language: | Portuguese |
Published: |
Universidade de São Paulo
2000
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Subjects: | |
Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43134/tde-02082013-153443/ |