Estruturação de filmes de silício amorfo hidrogenado induzida por pulsos laser de femtossegundos
Neste trabalho investigamos as modificações na morfologia superficial e estrutura de filmes finos de silício amorfo hidrogenado, resultantes da irradiação com pulsos ultracurtos de femtossegundos (150 fs, 775 nm e 1 kHz). Os processos de microfabricação foram conduzidos varrendo, a velocidade co...
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| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
2014
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/76/76132/tde-05052014-112028/ |