Efeito do carbono na formação de defeitos em silício Czochralski
Neste trabalho é estudado o efeito do carbono na formação de defeitos em silício Czochralski crescido na direção em amostras submetidas a tratamentos térmicos variados. Medidas de espalhamento difuso de raios-X, espectroscopia de infravermelho, medidas de resistividade, topografia de raios-X e...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
1991
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-06082013-103439/ |