Desenvolvimento de micropontas de silício com eletrodos integrados para dispositivos de emissão por efeito de campo.
Este trabalho apresenta um método de fabricação de micropontas de silício que já contém os contatos elétricos integrados à sua estrutura. O processo de fabricação das microestruturas é o foco desta pesquisa e nossa motivação futura é desenvolver dispositivos para emissão eletrônica por efeito de...
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| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
2007
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-07012008-165629/ |