Estudo das propriedades ópticas e eletro-ópticas de filmes de carbono amorfo tipo diamante - DLC.
Neste trabalho foram estudadas as características elétricas e ópticas de filmes de carbono tipo diamante (DLC Diamond-Like Carbon) depositados em um sistema de sputtering RF magnetron reativo em substratos de silício e vidro. Foram depositadas amostras em condições de processo distintas em cada...
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| Other Authors: | |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
2010
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-10012011-143459/ |