Sistema de monitoramento óptico banda larga direto para fabricação de filmes finos multicamadas com sincronização sensorless
Para a fabricação de filtros ópticos com característica espectral crítica, utiliza-se a tecnologia de filmes finos multicamadas, a qual exige o monitoramento e controle de espessura dos filmes com alta precisão. O sistema tradicional de monitoramento de espessura de filmes, baseado em cristal re...
| Main Author: | |
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| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
2011
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/18/18152/tde-10052011-152506/ |