Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares.
O presente trabalho teve como foco o desenvolvimento de um software para a simulação de processos de microfabricação em substrato e de microfabricação em superfície baseado em autômatos celulares, o simMEMS. Além disso, visando a futura incorporação de ferramentas para análise das estruturas ger...
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| Other Authors: | |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
2011
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11082011-125646/ |