Estudo de Litografia por Feixe de Elétrons para a Produção de Padrões Sobre Substratos de Eletroestruturas
Este trabalho trata do estudo das condições para a produção de padrões em escala nano e micrométricas, utilizando o processo de litografia eletrônica. A parte inicial refere-se ao estudo do elétron-resiste de PMMA incluindo a preparação da solução, o recobrimento do substrato e a secagem. Em seg...
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| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
1996
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/88/88131/tde-11092008-165630/ |