Análise quantitativa na fidelidade de microestruturas em réplicas de diamante e recobrimentos de DLC.
Uma das técnicas para fabricar microestruturas em diamante é usar moldes em silício microfabricados. Assim, microestruturas são produzidas em laminas de silício, um filme de diamante é depositado sobre essa lamina e o silício é corroído. Dessa forma é possível se obter réplicas de diamante das m...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
2006
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-11122006-134927/ |