Proposta de método para caracterização de propriedades termomecânicas de filmes finos utilizando dispositivos MEMS.
Um fator importante para o desenvolvimento de projetos de microssistemas é o conhecimento de propriedades termomecânicas dos materiais e a compreensão dos mecanismos de falhas. Este trabalho estuda o comportamento mecânico de microvigas atuadas termicamente e propõem um método para ser utilizado...
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| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
2002
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3132/tde-12072002-131428/ |