Caracterização de super-redes semicondutoras amorfas por difração de raios x.
Neste trabalho foram investigados dois sistemas de multicamadas de semicondutores amorfos, a-SI:h/SI IND.1-XC IND.X:h e a-SI:h/a-GE:h, crescidos pela técnica de plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). A difração de raios x a baixo angulo (SAXRD) foi a técnica utilizada para estudo da...
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Language: | Portuguese |
Published: |
Universidade de São Paulo
1995
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Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-12072013-154933/ |