Estudo da obtenção e das propriedades dos filmes de TiN e TiC depositados sobre aços ferramentas AISI H13 e D2 nitretados e não nitretados.
Filmes de nitreto de titânio e carbeto de titânio foram obtidos por deposição reativa via magnetron sputtering, utilizando como gases reativos, nitrogênio e metano, respectivamente. Foram depositados filmes de TiN e TiC, primeiramente sobre substratos de aços ferramenta AISI H13 e AISI D2 temper...
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Language: | Portuguese |
Published: |
Universidade de São Paulo
2008
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Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3133/tde-16042009-140247/ |