Medidas de expoentes críticos de filmes de diamante por meio de microscopia de força atômica

Neste trabalho investigamos a dinâmica de crescimento de filmes de diamante sintetizados por meio de deposição química a vapor ativada por plasma de microondas (CVD). A caracterização foi feita utilizando, fundamentalmente, microscopia de força atômica (AFM). Analisamos o comportamento da rugosi...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Marcilei Aparecida Guazzelli da Silveira
Other Authors: Maria Cecilia Barbosa da Silveira Salvadori
Language:Portuguese
Published: Universidade de São Paulo 1999
Subjects:
KPZ
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43133/tde-19062015-165612/