Estudo das propriedades estruturais e ópticas em materiais nanoestruturados a base de silício.
Esta tese de doutorado tem por objetivo aprofundar as pesquisas realizadas no mestrado, a saber, da caracterização e estudo das propriedades estruturais e ópticas de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy:H) ricos em silício depositados pela técnica de deposição química a vapor assistida...
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Language: | Portuguese |
Published: |
Universidade de São Paulo
2009
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Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072009-155431/ |