Estudo das propriedades estruturais e ópticas em materiais nanoestruturados a base de silício.

Esta tese de doutorado tem por objetivo aprofundar as pesquisas realizadas no mestrado, a saber, da caracterização e estudo das propriedades estruturais e ópticas de filmes de oxinitreto de silício (SiOxNy:H) ricos em silício depositados pela técnica de deposição química a vapor assistida...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Márcia Ribeiro
Other Authors: Inés Pereyra
Language:Portuguese
Published: Universidade de São Paulo 2009
Subjects:
Online Access:http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/3/3140/tde-20072009-155431/