Influencia de campo elétrico na segregação de dopantes durante o processo de crescimento de cristais pelo método Czochralski
Em processos de crescimento de cristais pelo método de Czochralski, é observado que um campo elétrico aplicado ao cristal durante o processo de crescimento modifica a quantidade de dopante incorporada ao cristal. É desenvolvido um modelo, baseado na teoria de Burton, Prim e Slichter, levando-se...
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Language: | Portuguese |
Published: |
Universidade de São Paulo
1991
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Subjects: | |
Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/54/54132/tde-20082014-111217/ |