Formação e Caracterização de Filmes Finos de Nitreto de Carbono
Neste trabalho foram produzidos filmes finos de nitreto de carbono pelo método de deposição de íons e vapor (IVD) que consiste em evaporar um material (carbono) sobre um substrato e, simultaneamente, realizar sobre ele um bombardeamento por íons (N POT.+). Foram produzidas amostras com energia d...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Language: | Portuguese |
| Published: |
Universidade de São Paulo
1996
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| Online Access: | http://www.teses.usp.br/teses/disponiveis/43/43131/tde-21022014-164041/ |