Fabricação de membranas de silício e estudo do efeito do nitreto de nióbio sobre o fator de qualidade elétrico nos transdutores do detector Mario Schenberg
Visando aprimorar o sistema de transdução do Detector de Ondas Gravitacionais Mario Schenberg, foram fabricadas membranas de silício com espessuras de 18, 23 e 29 $\mu$m, e regiões espessas centrais da ordem de 2,5 e 3 mm de lado. O processo de fabricação destas membranas consistiu em etapas de fab...
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| Language: | Portuguese |
| Published: |
Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)
2015
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| Online Access: | http://urlib.net/sid.inpe.br/mtc-m21b/2015/10.26.12.34 |