RF マグネトロンスパッタリング法による半導体および超伝導体成膜における成膜機構の解明
名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士（工学）（課程）学位授与年月日:平成21年3月25日
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | ja |
| Published: |
2009
|
| Online Access: | http://hdl.handle.net/2237/11898 |
名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士（工学）（課程）学位授与年月日:平成21年3月25日
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2009
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| Online Access: | http://hdl.handle.net/2237/11898 |