電子注入ストレスを加えたゲート酸化膜の電流検出型原子間力顕微鏡による解析

電子注入ストレスを加えたゲート酸化膜の電流検出型原子間力顕微鏡による解析

Bibliographic Details
Main Authors: 世古, 明義, 渡辺, 行彦, 近藤, 博基, 酒井, 朗, 財満, 鎭明, 安田, 幸夫
Language:ja
Published: 電子情報通信学会 2004
Subjects:
シリコン酸化膜
電流検出型原子間力顕微鏡法
信頼性
ストレス誘起リーク電流
トラップ
Online Access:http://hdl.handle.net/2237/12703
http://www.ieice.org/jpn/trans_online/index.html

Internet

http://hdl.handle.net/2237/12703
http://www.ieice.org/jpn/trans_online/index.html

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