UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発
科学研究費補助金 研究種目:基盤研究(A)(2) 課題番号:09355002 研究代表者:後藤 俊夫 研究期間:1997-1999年度
Main Authors: | , , , , , |
---|---|
Language: | ja |
Published: |
2000
|
Subjects: | |
Online Access: | http://hdl.handle.net/2237/13084 |
科学研究費補助金 研究種目:基盤研究(A)(2) 課題番号:09355002 研究代表者:後藤 俊夫 研究期間:1997-1999年度
Main Authors: | , , , , , |
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Language: | ja |
Published: |
2000
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Subjects: | |
Online Access: | http://hdl.handle.net/2237/13084 |