UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発

科学研究費補助金研究種目:基盤研究(A)(2) 課題番号:09355002 研究代表者:後藤俊夫研究期間:1997-1999年度

Bibliographic Details
Main Authors:	後藤, 俊夫, 河野, 明廣, 堀, 勝, 伊藤, 昌文, 寒川, 誠二, 塚田, 勉
Language:	ja
Published:	2000
Subjects:	CVD Large-scale Plasma Polycrystalline Silicon Process Radical Si原子 Thin Film UHF アモルファスシリコンプラズマプロセスラジカル多結晶シリコン大口径薄膜
Online Access:	http://hdl.handle.net/2237/13084

id	ndltd-NAGOYA-oai-ir.nul.nagoya-u.ac.jp-2237-13084
record_format	oai_dc
spelling	ndltd-NAGOYA-oai-ir.nul.nagoya-u.ac.jp-2237-130842014-03-14T03:51:33ZUHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発後藤, 俊夫河野, 明廣堀, 勝伊藤, 昌文寒川, 誠二塚田, 勉CVDLarge-scalePlasmaPolycrystalline SiliconProcessRadicalSi原子Thin FilmUHFアモルファスシリコンプラズマプロセスラジカル多結晶シリコン大口径薄膜科学研究費補助金研究種目:基盤研究(A)(2) 課題番号:09355002 研究代表者:後藤俊夫研究期間:1997-1999年度2000-03Research Paperhttp://hdl.handle.net/2237/13084ja
collection	NDLTD
language	ja
sources	NDLTD
topic	CVD Large-scale Plasma Polycrystalline Silicon Process Radical Si原子 Thin Film UHF アモルファスシリコンプラズマプロセスラジカル多結晶シリコン大口径薄膜
spellingShingle	CVD Large-scale Plasma Polycrystalline Silicon Process Radical Si原子 Thin Film UHF アモルファスシリコンプラズマプロセスラジカル多結晶シリコン大口径薄膜後藤, 俊夫河野, 明廣堀, 勝伊藤, 昌文寒川, 誠二塚田, 勉 UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発
description	科学研究費補助金研究種目:基盤研究(A)(2) 課題番号:09355002 研究代表者:後藤俊夫研究期間:1997-1999年度
author	後藤, 俊夫河野, 明廣堀, 勝伊藤, 昌文寒川, 誠二塚田, 勉
author_facet	後藤, 俊夫河野, 明廣堀, 勝伊藤, 昌文寒川, 誠二塚田, 勉
author_sort	後藤, 俊夫
title	UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発
title_short	UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発
title_full	UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発
title_fullStr	UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発
title_full_unstemmed	UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発
title_sort	uhf帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発
publishDate	2000
url	http://hdl.handle.net/2237/13084
work_keys_str_mv	AT hòuténgjùnfū uhfdàipurazumawoyòngitacìshìdàidàkǒujìngjīnéngxìngbáomópurosesunokāifā AT héyěmíngguǎng uhfdàipurazumawoyòngitacìshìdàidàkǒujìngjīnéngxìngbáomópurosesunokāifā AT kūshèng uhfdàipurazumawoyòngitacìshìdàidàkǒujìngjīnéngxìngbáomópurosesunokāifā AT yīténgchāngwén uhfdàipurazumawoyòngitacìshìdàidàkǒujìngjīnéngxìngbáomópurosesunokāifā AT hánchuānchéngèr uhfdàipurazumawoyòngitacìshìdàidàkǒujìngjīnéngxìngbáomópurosesunokāifā AT zhǒngtiánmiǎn uhfdàipurazumawoyòngitacìshìdàidàkǒujìngjīnéngxìngbáomópurosesunokāifā
_version_	1716649362921095168

UHF帯プラズマを用いた次世代大口径機能性薄膜プロセスの開発

Similar Items