Force and Position Measurements of Micromachines by Atomic Force Microscopy

名古屋大学博士学位論文 学位の種類:博士(工学) (課程) 学位授与年月日:平成6年3月25日

Bibliographic Details
Main Authors: 鳥井, 昭宏, Torii, Akihiro
Language:en
Published: 1994
Online Access:http://hdl.handle.net/2237/15622