Determinación de la topografía superficial de películas delgadas de TiO2 y SiC mediante interferometría tipo Michelson

El presente trabajo de tesis propone un método para determinar la topografía superficial de muestras de películas delgadas de TiO2 y SiC, mediante el análisis de interferogramas con técnicas de interferometría de desplazamiento de fase. Los interferogramas son obtenidos desde un microscopio interfer...

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Bibliographic Details
Main Author: Choque Aquino, Jovanetty Iván
Other Authors: Asmad Vergara, Miguel Augusto
Format: Dissertation
Language:Spanish
Published: Pontificia Universidad Católica del Perú 2016
Subjects:
Online Access:http://tesis.pucp.edu.pe/repositorio/handle/123456789/7495