Determinación de la topografía superficial de películas delgadas de TiO2 y SiC mediante interferometría tipo Michelson
El presente trabajo de tesis propone un método para determinar la topografía superficial de muestras de películas delgadas de TiO2 y SiC, mediante el análisis de interferogramas con técnicas de interferometría de desplazamiento de fase. Los interferogramas son obtenidos desde un microscopio interfer...
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Dissertation |
| Language: | Spanish |
| Published: |
Pontificia Universidad Católica del Perú
2016
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| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/20.500.12404/7495 |