Monolithic CMOS-MEMS resonant beams for ultrasensitive mass detection
Estructures ressonants en forma de biga (p.e. ponts o palanques) són molt interessants com a element transductor en sensors físics, químics i biològics basats en sistemes micro-/nanoelectromecànics (M-/NEMS) degut a la seva simplicitat, al gran rang de dominis que poden sensar, i a la seva extremada...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Published: |
Universitat Autònoma de Barcelona
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/10803/5356 http://nbn-resolving.de/urn:isbn:9788469165539 |