以電漿助長化學氣相沈積法成長非晶質矽氫薄膜及其特性之研究

以電漿助長化學氣相沈積法成長非晶質矽氫薄膜及其特性之研究

碩士 === 國立成功大學 === 電機工程研究所 === 69 ===

Bibliographic Details
Main Authors:	Lin, Wan-Li, 林萬里
Other Authors:	Zhang, Zun-Yan
Format:	Others
Language:	zh-TW
Online Access:	http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/02409115332292227077

Internet

http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/02409115332292227077