鈦矽化物薄膜在複晶矽上之氧化

碩士 === 國立清華大學 === 物理研究所 === 69 ===

Bibliographic Details
Main Authors: Zhu, Sheng-De, 朱盛德
Other Authors: Liu, Yuan-Zhong
Format: Others
Language:zh-TW
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/05576353656481859649