鉭薄膜在矽晶片及氧化之矽晶片上的固態反應之研究

碩士 === 國立清華大學 === 應用物理研究所 === 69 ===

Bibliographic Details
Main Authors: Liao, Huo-Ren, 廖和仁
Other Authors: Liu, Yuan-Zhong
Format: Others
Language:zh-TW
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/81520765292261575428