鉭薄膜在矽晶片及氧化之矽晶片上的固態反應之研究
碩士 === 國立清華大學 === 應用物理研究所 === 69 ===
Main Authors: | Liao, Huo-Ren, 廖和仁 |
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Other Authors: | Liu, Yuan-Zhong |
Format: | Others |
Language: | zh-TW |
Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/81520765292261575428 |
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Published: (2002)