高溫蒸鍍鉑薄膜在矽(111)面上反應之研究

碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程研究所 === 74 ===

Bibliographic Details
Main Authors: ZHANG, LI-DI, 張立蒂
Other Authors: CHEN, JIAN-RUI
Format: Others
Language:zh-TW
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/10295153253418279462