高溫蒸鍍鉑薄膜在矽(111)面上反應之研究

• Main Authors: ZHANG, LI-DI, 張立蒂
• Other Authors: CHEN, JIAN-RUI
• Format: Others
• Language: zh-TW
• Online Access: http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/10295153253418279462

碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程研究所 === 74 ===