低壓管爐化學沉積氮化鋁薄膜

碩士 === 國立成功大學 === 礦冶及材料科學研究所 === 76 ===

Bibliographic Details
Main Authors: Xu, Jin-Ming, 許進明
Other Authors: Li, Zhong-Xia
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 1988
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/74893738529877036405