Poly(MAN-co-MAA)光阻劑結構鑑定及性質研究
碩士 === 國立清華大學 === 化學工程研究所 === 76 === Methacrylonitrile（MAN）與Methacrylic acid（MAA） 的共聚合物在１２０℃以上 會引發結環結構，此結構在２４０∼２６０nm的波長照射下，會產生斷鏈反應，因此 可為正光阻（Positive resist） 本實驗主要即探討此deepUV正光阻的共聚合物組成 ，結構結環及斷鏈結構，耐熱性，不同溶劑下的顯影速率及抗活性離子蝕刻（RIC）...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | zh-TW |
| Published: |
1988
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/28197864017727959071 |