A study on phase-change erasable optical disk materials

博士 === 國立清華大學 === 材料科學工程研究所 === 78 === ln-Sb-Te三元合金薄膜,以modifide flash deposition 法,已蒸鍍成功。有關此蒸 鍍性亦在論文中加以討論。剛鍍好的薄膜被發現是非晶質與結晶相二者共存的結構。 薄膜的均質化可在低溫125℃ 的熱處理狀況下達成。最好的熱處理情況是在145至225 ℃的二階段退火。各種不同剛鍍好的膜與退火過的膜藉著 X光繞射儀與穿透式電子顯 微鏡, 二種儀器來分析其特性。同時也使用AES 來分...

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Bibliographic Details
Main Authors: LI,CHUAN-SHU, 黎傳樹
Other Authors: ZHANG,YI-XI
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 1990
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/35044959614499618146