以四氯化鈦的電漿化學氣相沉積氧化鈦薄膜

碩士 === 大同工學院 === 材料科學工程研究所 === 78 ===

Bibliographic Details
Main Authors: XU,SHAO-DA, 許紹達
Other Authors: CHEN,KE-SHAO
Format: Others
Language:zh-TW
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/41610575856027598893