Reactive ion etching of GaAs in CCl2 F2

Reactive ion etching of GaAs in CCl2 F2

碩士 === 國立臺灣大學 === 電機工程研究所 === 79 ===

Bibliographic Details
Main Author:	徐松睦
Other Authors:	FENG, WU-XIONG
Format:	Others
Language:	zh-TW
Published:	1991
Online Access:	http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/90920646294109189422

Internet

http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/90920646294109189422