真空蒸鍍程序中基板條件對矽膜晶態之影響

碩士 === 國立成功大學 === 化學工程研究所 === 80 ===

Bibliographic Details
Main Authors: CHEN, ZHI-XIANG, 陳志翔
Other Authors: CHEN, JIN-CHENG
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 1992
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/68172372047895605269