.Xbar control chart expert system using in poly etching process
碩士 === 國立中山大學 === 企業管理研究所 === 82 === .Xbar 管制圖利用基本的統計理念,以簡單的圖表及相關的判斷準則來顯 示品質狀況,是製程管制的主要工具之一。以往皆以人工繪製及判讀 .Xbar管制圖,耗時且易誤判,例如;因為趨勢與連串異常模式不易被發現。 將專家系統融入.Xbar管制圖,解決上述問題的可行方案。本研究以半導體 複晶蝕刻製程為對像,和廠商製程管制工程師、製程工程師及現場操作人...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | zh-TW |
| Published: |
1994
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/40803906786657016193 |