Evolution of Stresses During Formation of TiSi2
碩士 === 國立中興大學 === 材料工程學研究所 === 85 === TiSi2有兩種不同的相，一種是在低溫時即可由鈦和矽反應形成的介 穩定(metastable)相--C49相；另一種則是要在較高的溫度下由C49相經由 相變化而生成的C54相，這是一種穩定(stable)相。由於C49相及C54相的 熱膨脹係數和矽基材的熱膨脹係數不同，因此在C49相及C54相反應生成時 ，薄膜與基材間會有應力作用，因此會使得試片產生彎曲(bending)的現...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | zh-TW |
| Published: |
1997
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| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/26783802399417495671 |