銅膜在矽基材上之應力行為研究

銅膜在矽基材上之應力行為研究

碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程研究所 === 85 ===

Bibliographic Details
Main Author:	宋建憲
Other Authors:	周卓緷
Format:	Others
Language:	zh-TW
Published:	1997
Online Access:	http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/98864138271455925781

Internet

http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/98864138271455925781