水平式晶圓快速熱處理爐晶圓溫度均勻性之改良與補償分析

水平式晶圓快速熱處理爐晶圓溫度均勻性之改良與補償分析

碩士 === 國立臺灣大學 === 應用力學研究所 === 90 ===

Bibliographic Details
Main Authors:	Chi-Peng Lee, 李志鵬
Other Authors:	Tzong-Shyan Wung
Format:	Others
Language:	zh-TW
Published:	2002
Online Access:	http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/12450258351604069860

Internet

http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/12450258351604069860