微型矽材之諧振式陀螺儀調質薄膜設計與製作

碩士 === 國立臺灣大學 === 應用力學研究所 === 92 ===

Bibliographic Details
Main Author: 吳裕隆
Other Authors: 周傳心
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 2004
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/42566540313914889798