電漿輔助化學氣相沈積成長奈米碳纖之電漿量測與特性分析

電漿輔助化學氣相沈積成長奈米碳纖之電漿量測與特性分析

碩士 === 國立清華大學 === 工程與系統科學系 === 93 ===

Bibliographic Details
Main Authors:	Y. Y. Lin, 林囿延
Other Authors:	C. Lin
Format:	Others
Language:	zh-TW
Published:	2004
Online Access:	http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/27607173909616574154

Internet

http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/27607173909616574154