陰極電弧電漿蒸鍍氮化鈦矽奈米複合薄膜之製程與性質研究

碩士 === 明道大學 === 材料暨系統工程研究所 === 95

Bibliographic Details
Main Authors: Chao-Te Lin, 林照得
Other Authors: Chi-Lung Chang
Format: Others
Language:zh-TW
Published: 2007
Online Access:http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/8jbjuz