非典型欄柵型太陽能電池
碩士 === 國立清華大學 === 電子工程研究所 === 96 === 本論文主旨在討論低溫微晶矽薄膜於柵欄型結構成長之太陽能電池，利用高密度電漿化學氣相沉積(HDP-CVD)系統以氫稀釋法來成長矽薄膜，並利用拉曼(Raman)散射頻譜則用於分析微晶矽薄膜之結晶度與結晶態體積含量，X-ray 繞射頻譜則用於分析微晶矽薄膜之擇優取向 (Preferred orientations)，紅外線吸收頻譜可分析微晶矽薄膜的氫-矽之鍵結組態及薄膜中的氫含量、導電度分析用來解析微晶矽薄膜之導電特性，而Nanospac及α-STEP測厚儀用來量測薄膜厚度，掃描式電子顯微鏡(SEM)做表面晶粒型態分析，展阻量...
| Main Authors: | , |
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| Other Authors: | |
| Format: | Others |
| Language: | en_US |
| Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/96407875347989608807 |