不同能量與順序對於氫與氦離子共佈植於矽所引發表面發泡之比較研究

不同能量與順序對於氫與氦離子共佈植於矽所引發表面發泡之比較研究

碩士 === 國立清華大學 === 工程與系統科學系 === 97 ===

Bibliographic Details
Main Authors:	Chung, Chih-Hung, 鍾志宏
Other Authors:	Liang, Jenq-Horng
Format:	Others
Language:	zh-TW
Published:	2009
Online Access:	http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/01050269672229693474

Internet

http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/01050269672229693474