The deposition of silicon thin film by RF PE-CVD using silicon tetrachloride as precursor
碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程學系 === 98
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | |
Format: | Others |
Language: | zh-TW |
Published: |
2010
|
Online Access: | http://ndltd.ncl.edu.tw/handle/27096562511040428556 |
Summary: | 碩士 === 國立清華大學 === 材料科學工程學系 === 98 |
---|